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Application de l'analyse par microsonde Raman dans la fabrication de semiconducteurs

Article paru dans l'Actualité Chimique N°71 - avril 1980
Rédigé par Needham C.

La technologie courante de l’industrie des semiconducteurs produit des systèmes avec une grande densité de circuits, circuits dont les dimensions sont mesurées en microns. Une contamination par particule, pendant le traitement, peut entrainer des courts-circuits ou des circuits ouverts dans le système. Pour cette raison, il est essentiel de connaitre la composition de tels contaminants afin de trouver leur source et la microsonde Raman s’est montré être un excellent outil d’analyse dans ce cas.

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