N° 55 octobre 1978

Derniers développements en CVD : dépôts chimiques à partir de la phase vapeur

Pagination : 19-29
Rubrique : Méthodes et techniques
Mots-clés : Techniques CVD, dépôts chimiques à partir de la phase vapeur, études fondamentales, thermodynamique, cinétique, transfert de masse, relations mécanisme/structure, analyses in situ, nouveaux procédés de dépôt.

Le champs d’application des techniques CVD est de plus en plus vaste. Son extension nécessite une meilleure connaissance des relations entre le procédé de dépôt, les mécanismes physicochimiques, la composition, la structure et les propriétés du produit final.

L’optimisation du rendement et l’abaissement du prix de revient sont actuellement l’objet de recherches poussées, respectant la pureté et les qualités minimales exigées par la technologie utilisatrice. Les progrès sont attendus, soit d’études fondamentales thermodynamiques, hydrodynamiques et cinétiques, soit de l’utilisation de procédés de dépôt nouveaux.